AMAYA天谷制作所 - 铃田（上海）科技有限公司

AMAYA天谷制作所

日本AMAYA天谷制作所：日本AMAYA天谷制作所常压CVD单片设备 A200V，日本AMAYA天谷制作所常压CVD装置 A6300S，日本AMAYA天谷制作所12 英寸连续常压 CVD 设备 AMAX1200

品牌产品

国内直销AMAYA天谷制作所MOCVD 设备; Doctor-TTM
AMAYA天谷制作所MOCVD 气相沉积设备; Doctor-TTM • 8 英寸晶圆兼容 • 可沉积金属氧化膜、金属氮化膜等 • 采用砖利无氯气...
AMAYA天谷制作所太阳能电池批量生产用AMAX1000S
156mm 方形/小时 1500 张吞吐量 • 通过采用 SiC 托盘解决重金属污染问题，以及通过改进托盘支架进行背面旋转措施气相沉积设...
国内销售AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜装置
● 低温（150~300°C）处理 ● 形成高品质的SiO2膜低应力、无等离子体损伤、小颗粒 • 降低导入和维护成本小占地...
AMAYA天谷制作所小型生产和开发的常压 CVD 设备 D501
• 批量常压 CVD 设备，用于在大型托盘中装载多个晶圆气相沉积设备
AMAYA天谷制作所高性能单片式常压CVD装置A200V
气相沉积设备 ● ±2%以内的膜厚均匀性 ● 低温工艺对应 ● 抑制颗粒产生 ● 提高维护性 ● 紧凑的装置结构 ● 提高 **...
代理AMAYA天谷制作所连续常压 CVD设备A6300S
AMAYA天谷制作所连续常压 CVD设备A6300S ●6英寸~120张/小时吞吐量 ●采用SiC托盘的重金属污染对策气相沉积设备
代理AMAYA天谷制作所高生产率连续常压CVD设备 AMAX800V
● 8英寸/小时100张高通量 ●采用SiC托盘，可应对重金属污染，实现长期稳定工艺 ●提高维护性气相沉积设备
日本AMAYA天谷制作所12 英寸连续常压CVD设备AMAX1200
●12英寸~56张/时的吞吐量 ●采用SiC托盘的重金属污染对策