通过改进输送机制实现高吞吐量。
AMAX 型分散 头中的 SiH，经过优化，可在低温常压下更有效地进行热化学反应4, PH3, B2H6和 O2分散后混合和表面反应的后混合方法， 提供优异的薄膜厚度均匀性和杂质浓度均匀性。
SiC 托盘的采用使重金属污染不难发生。 此外，由于热量，工艺性能 稳定，老化较少。
标准配备托盘自动更换功能，可缩短操作员的**性和维护时间。 此外，通过采用自动提升头底座的机制，可以轻松进行 清洁。