铃田（上海）科技有限公司代理、直营各日本品牌工业产品，联系人：张小姐

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产品信息

• 可在紫外可见（300~800nm）波长范围内测量椭圆参数
• 纳米级多层薄膜的厚度分析
• 使用 400ch 或更多多通道光谱快速测量椭圆光谱
• 通过可变反射角度测量支持薄膜的详细分析
• 通过数据库化光学常数和添加配方注册功能，提高可操作性

• 椭圆参数（tan= 、cosΔ）测量
• 光学常数 （ n ： 折射率 ， k ： 消光系数 ） 分析
• 厚度分析

• 半导体晶圆
  栅极氧化薄膜、氮化膜
  SiO₂，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al₂O₃，SiN_xO_y，poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
  电阻的光学常数（波长色散）
• 化合物半导体
  铝_xGa_(1-x)As 多层膜，非晶硅
• FPD
  对准膜
• 各种新材料
  DLC（Diamond Like Carbon）、超导薄膜、磁头薄膜
• 光学薄膜
  TiO₂，SiO₂，防反射膜
• 光刻领域
  g 线 （436nm）、h 线 （405nm） 、i 线 （365nm） 等各波长的 n，k 评价

里·哈拉

将包含 s 波和 p 波的线性偏振光入射到样品中，以测量反射光的椭圆偏振光。 s 波和 p 波的相位和振幅独立变化，以获得 p 波和 s 波反射率的比值和相位差 Δ，这是两种偏振光的转换参数，具体取决于样品。

tan_ 和 cons_称为椭圆参数，光谱椭圆测量测量这两个参数的波长相关光谱。

*1 偏振器可驱动，缓速板可拆卸，对不敏感带有效。
*2 因短轴和角度而异。
*3 微点对应（可选）
*4 使用 VLSI 标准 SiO2 膜 （100nm） 时的值。
*5 选择自动阶段时的值。

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