OTSUKA大塚OPTM-A1,OPTM-A2,OPTM-A3显微分光膜厚仪
OTSUKA大塚主要销售用于光学特性评价?检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源?照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价?检查。欢迎新老客户来电咨询！
OTSUKA大塚产品特点膜厚测量中必要的功能集中于头部。通过显微分光高精度测量绝i对反射率（多层膜厚、光学常数）。1点只需不到1秒的高速tact。实现了显微下广测量波长范围的光学系（紫外～近红外）。OTSUKA大塚通过区域传感器控制的**构造。搭载可私人定制测量顺序的强大功能。即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数。各种私人定制对应（固定平台，OTSUKA大塚OPTM，有嵌入式测试头式样）。
OTSUKA大塚头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高精度**反射率（多层膜厚度，光学常数）
1点1秒高速测量
OTSUKA大塚显微分光下广范围的光学系统（紫外至近红外）
区域传感器的**机制
易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义
OTSUKA大塚OPTM-A1,OPTM-A2,OPTM-A3显微分光膜厚仪
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OTSUKA大塚OPTM-A1
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OTSUKA大塚OPTM-A2
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OTSUKA大塚OPTM-A3
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波長范围
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230 ~ 800 nm
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360 ~ 1100 nm
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900 ~ 1600 nm
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膜厚范围
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1nm ~ 35μm
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7nm ~ 49μm
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16nm ~ 92μm
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测定时间
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1秒 / 1点
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光斑大小
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10μm (*小约5μm)
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感光元件
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CCD
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InGaAs
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光源規格
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氘灯+卤素灯
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卤素灯
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电源規格
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AC100V±10V 750VA（自动样品台规格）
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尺寸
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555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分)
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重量
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约 55kg（自动样品台规格之主体部分）
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OTSUKA大塚OPTM-A1,OPTM-A2,OPTM-A3显微分光膜厚仪测量项目：
**反射率测量
多层膜解析
光学常数分析（n：折射率，k：消光系数）
OTSUKA大塚OPTM-A1,OPTM-A2,OPTM-A3显微分光膜厚仪测量示例：
SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚测量
OTSUKA大塚半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号，但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的电流流过任意路径，有必要隔离晶体管，埋入绝缘膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于绝缘膜。 SiO 2用作绝缘膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介电常数的绝缘膜，或是作为通过CMP去除SiO 2的不必要的阻挡层。之后SiN也被去除。 OTSUKA大塚为了绝缘膜的性能和**的工艺控制，有必要测量这些膜厚度。
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