光谱仪（MCPD-9800/MCPD-3700/MCPD-7700）
提供丰富选配套件以及客制化光纤，
可依据安装现场需求评估设计，是一套可灵活架设于各种环境下的即时测量系统
分光光谱仪种类
MCPD-9800：高动态范围分光
MCPD-6800：紫外/可见/近红外光分光光谱仪
MCPD-7700：高感度分光
膜厚测量
半导体晶圆膜（氧化膜、氮化膜、光阻膜）光阻剥离液厚度、湿状薄膜涂布膜（Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头）树脂膜（PET、PP、PE、PC、Nylon）、机能性薄膜、包裝膜
膜厚测量(分光光谱仪 + 显微镜)
半导体晶圆膜（氧化膜、氮化膜、光阻膜）光阻剥离液厚度、湿状薄膜塗布膜（Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头）树脂膜（PET、PP、PE、PC、Nylon）、机能性薄膜、包装膜。
影印機感光鼓膜厚度量測
半导体晶圆膜（氧化膜、氮化膜、光阻膜）光阻剥离液厚度、湿狀薄膜塗布膜（Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头）树脂膜（PET、PP、PE、PC、Nylon）、机能能性薄膜、包装膜
LB膜测量
蒸馏膜测量
多点膜厚测量
半导体晶圆膜（氧化膜、氮化膜、光阻膜）
光阻剥离液厚度、湿狀薄膜
塗布膜（Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头）
树脂膜（PET、PP、PE、PC、Nylon）、机能能性薄膜、包装膜