Kosaka小板研究所微细形状测定机ET4000
· 高精度．安定性．机能性**适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。
· 是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。
· ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。
· ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。
· ET4300一适合12"样品测量。
0.5µN~500µN (0.05mg-50mg)