* 适带有气体采样流量自动控制功能 * LCD显示,现场状态一目了然 * 实现小型、轻量化 * 可简单地更换传感器和采样气路 * 带有防止传感器单元错误插入的功能 * 可以设定多样的维护模式 * 组合对应热分解单元与定电位电解式传感器,能检测NF3等 * 实现了用PDA读取数据 * 符合CE规格,SEMI规格