[应用]
适用于要求高精度的研磨工艺。
[特点]
它是一种直接冷却电磁线圈的特殊结构。
它的结构精度变化很小。通过卡盘内部的冷却剂和来自上表面的研磨液的组合抑制了温度上升。这*小化了由于温度升高引起的卡盘膨胀的变化。
即使冷却液在卡盘内部流动,我们独特的设计也使内部线圈不易发生故障。