■支架类型

●固定类型

●弹簧式

●螺丝固定型

■垫材料

丁腈橡胶，硅橡胶，聚氨酯橡胶，氟橡胶，导电硅橡胶，导电丁二烯橡胶（低电阻型），导电NBR，HNBR，EPDM

■焊盘尺寸（X×Y）（mm）*。请参考下图。

2×4,3.5×7，

4 x 10,4 x 20,4 x 30，

5 x 10,5 x 20,5 x 30，

6 x 10,6 x 20,6 x 30，

8×20,8×30

■配件尺寸

适用于输送基板和半导体等长工件。

• 小型支架可缩小现有的真空吸盘支架（A，B，C，D型）并节省空间。还支持可选防坠阀，垫直接附件式过滤器。

• 在不将支架从设备上拆下的情况下，可以更换衬垫部件。

• 对应于“未使用的铜基金属”和“低浓度臭氧测量”字段的垫支架也是可用的。金属部件材料为未使用的铜基金属，采用密封橡胶材料HNBR。
  *衬垫材料：丁腈橡胶，导电橡胶（低阻型），导电丁腈橡胶不适合低浓度臭氧措施。