YAMATO雅马拓,C-119电子半导体材料用氮气**烘箱
用途:CSPエポキシモールド的**烘烤
特征:
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温度控制、氮气导入、冷却过程全自动运行。使用氮气时的氧气置换率(残留量)可在100PPm以下。
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双排气自动排气阀、氮气自动导入口、温度记录仪(槽内1点)、槽内温度监视探头(6点)、信号顶灯、紧急停止开关和独立过热防止器等标准装备。
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立式上下双槽结构,省空间型设计。
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数据式样:
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方式
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强制送风循环及一部分换气
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温度范围
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室温+15~175℃
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分布精度
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±3℃(at 175℃)
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高温度到达时间
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15分(50→175℃)
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外形尺寸
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宽1230×深1010×高2070mm
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内槽尺寸
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宽550×深550×高550mm 2槽
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