型号

PM100

等离子发生源

低周波高电压电源，输出约100W，周波数60KHz、输出电压10kV

气体流量计

氧气用、流量30～300mL/min

真空调整阀门

抽真空用，回大气用

反应槽尺寸

内径100mmx深度zui大约200mm

外形尺寸

W310mmxD300mmxH448mm（不含突起部）

其他

电源　50/60Hz

AC100V　10A（15A）（含真空泵max7A）

真空泵链接口

外径Φ6.35mm配管（推荐真空泵排气速度30L/min）

气体接口

外径Φ6.35mm配管接续用