型号:PM10
产地:日本
YAMATO雅马拓,PM10小型等离子清洗机
型号
PM100
等离子发生源
低周波高电压电源,输出约100W,周波数60KHz、输出电压10kV
气体流量计
氧气用、流量30~300mL/min
真空调整阀门
抽真空用,回大气用
反应槽尺寸
内径100mmx深度zui大约200mm
外形尺寸
W310mmxD300mmxH448mm(不含突起部)
其他
电源 50/60Hz
AC100V 10A(15A)(含真空泵max7A)
真空泵链接口
外径Φ6.35mm配管(推荐真空泵排气速度30L/min)
气体接口
外径Φ6.35mm配管接续用