型式 AP-310RV-01 AP-310RV-02 AP-310RV-03 AP-310RV-04
*大流量（Airの場合・H2の場合は3倍） 20 NLM 50 NLM 100 NLM 200 NLM
常用流量（Airの場合・H2の場合は3倍） 5 NLM 15 NLM 50 NLM 100 NLM
下限流量（Airの場合・H2の場合は3倍） 0.01 NLM 0.02 NLM 0.1 NLM 0.2 NLM
上限制御圧力 500 KPa abs 500 KPa abs 500 KPa abs 500 KPa abs
下限制御圧力（常用流量時） 110 KPa abs 110 KPa abs 110 KPa abs 110 KPa abs
制御圧力精度 ±1％FS以下（圧力センサー精度に依存）
応答速度 1秒以下（圧力制御配管容積及び供給ガス流量へ依存）
制御ガス水分濃度（露点） 20-80 DP 20-80 DP 20-80 DP 20-80 DP
ガス入口温度 20-90 ℃ 20-90 ℃ 20-90 ℃ 20-90 ℃
*大加熱温度 120 ℃ 120 ℃ 120 ℃ 120 ℃
ガス入口継手 PF 1/4 RC 3/8 NPT 1/2 NPT 3/4
ガス出口継手 PF 1/4 RC 3/8 NPT 1/2 NPT 1
接ガス部材質 SUS、PTFE他 SUS、バイトン他
空圧制御基板及びBOX 含 含 含 含
空圧制御ガス圧力 550kPa abs(制御圧に対し、+50kPa以上の供給圧が必要です。)
圧力センター 無（ご要望の場合はご相談願います）
ヒーター・電対 無（ご要望の場合はご相談願います）
温調器 無（ご要望の場合はご相談願います）