型式 AP‐200N‐01 AP‐200N‐02 AP‐200N‐03
*大流量 10L／分 50L／分 150L／分
対象ガス 全てのガス（半導体ﾌﾟﾛｾｽｶﾞｽ・腐食性ｶﾞｽ含む）
制御圧力 0－600kPaG
制御圧力精度 圧力ｾﾝｻｰ精度による
供給圧力 999kPaG
耐圧 1.5MPa G
材質 SUS316L　HC22　テフロン
表面処理 電解研磨
応答時間 1秒（Typical）
継手 1/4”VCR相当品
ｼｰﾄﾘｰｸ 1×10－8Pa･m3/sec以下
ﾘｰｸﾚｲﾄ 1×10－11Pa･m3/sec以
外形寸法（D面間） W36XD32XH130㎜
外部圧力ｾﾝｻｰ信号 4-20ｍA（標準）
圧力設定 CD-100による手動設定又は外部信号による設定
外部圧力設定信号 0-5V DC又はRS-485
出力信号 アラーム出力　制御圧力信号（RS-485,0-5V出力はオプション）
電源 DC２４V±10％
消費電流 200ｍA　Max
使用温度 0-50℃　結露無きこと