仕様
対象ガス N2,　Air,　H2,　CH4,　Ar,　O2他
流量範囲 ５０NLM～５００NLM　(0℃,一気圧換算)
制御範囲 5-100%　FS
精度 2%　FS
繰り返し性 ±0.2%　FS
応答速度 2秒以内　(フルスケール設定値の±2%到達までの時間)
制御範囲 2-100%
使用温度範囲 0-50℃（15-35℃：精度保証）、結露なきこと
耐圧 0.99MPa
外部シール 1×10-7Pam3/sec(He)以下
入力信号 0-5VDC、RS485　(4-20mA 工場オプション)
出力信号 0-5VDC、RS485　(4-20mA 工場オプション)
電源電圧 DC24V±10%　200mA以下
接ガス材質 SUS316、バイトン　他　（SUS316L対応可）
電源コネクター D-Sub 15ピン
ﾊﾞﾙﾌﾞ駆動用空圧 0.4-0.5MPaG
寸法 面間寸法174mm 　高さ128mm（コネクター除く）　流量により異なります
継手 3/8　又は1/2“スウェジロック相当継手　（VCR相当継手対応可能）
50NLM以下の場合にはAFC-150を準備しております。
500NLM以上の場合はAFC-2500を準備しております