測定範囲(XxYxZ)(mm)
300x200x200
400x400x250
600x650x250
*小表示量(µm)
0.1
観察装置
プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系
照明 垂直落射照明
白色LED
照明 透過照明
照明 リング照明
温度補正機能
手動温度補正
その他
画像測定精度(μm) EUX/EUY,MPE (1.5+3L/1000) EUXY,MPE (2.0+4L/1000) EUZ,MPE (1.5+4L/1000)