測定範囲 X軸(mm)
1600
測定範囲 Y軸(mm)
2000
3000
4000
測定範囲 Z軸(mm)
1200
駆動速度 CNC mode 移動速度(各軸)(AUTO)(mm/s)
8〜400
駆動速度 CNC mode 移動速度(各軸)(MANUAL)(mm/s)
8〜136
駆動速度 CNC mode *大合成速度(AUTO)(mm/s)
693
駆動速度 CNC mode *大合成速度(MANUAL)(mm/s)
236
駆動速度 CNC mode 測定速度(AUTO)(mm/s)
1〜5
1〜3
駆動速度 CNC mode 測定速度(MANUAL)(mm/s)
駆動速度 J/S mode 移動速度(mm/s)
0〜80
駆動速度 J/S mode 測定速度(mm/s)
0〜3
駆動速度 J/S mode 微動速度(mm/s)
0.05
駆動加速度(各軸)(mm/s²)
800
駆動加速度(*大合成加速度)(mm/s²)
1390
*小表示量(mm)
0.0001
案内方式(各軸)
エアベアリング
本体使用空気圧(MPa)
0.4
本体空気消費量(L/min)
150(標準状態において)(空気源としては200)
測定テーブル 材質
はんれい岩
測定テーブル 大きさ(載物面)(mm)
1800 × 3205
1800×3205
1800×4205
1800×5205
1800 × 5205
測定物 *大質量(kg)
3500
4500
測定テーブル 測定物固定方法(mm)
M8 × 1.25
本体質量(設置台・コントローラ含む)(kg)
9300
9350
10600
10650
14800
14850
電源
AC100~120/200~240V±10%・50/60Hz
消費電力(プローブオプションI / Fを含む)(kW)
1.5