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产品资料

OHKURA无纸记录仪

近接曝光装置MA-5111ML 日本DNK苏州销售

型号： MA-5111MLL

简介：

主要特长能够进行节拍时间约20秒(标准规格机，对位容许值设定为0.5μm时。不含曝光时间。)的高速曝光处理。利用直读式间隙传感器与独自的控制系统,能够高速度和高精度地设定掩膜与基板间的近接间隙。可配置严格控制处理部位温度环境的温控机房。为了防止因热而引起的基板伸缩,还可选用基板台温度调控系统。可选择配置基板台温度控制系统及掩膜冷却系统，以防止掩膜及玻璃基板因温度差而引起的伸缩。(

详情介绍

主要规格

		MA-5501ML	MA-5701ML	MA-5111ML
基板尺寸		370 x 470mm	550 x 650mm	730 x 920mm
对位		非接触预对位～自动对位
间隙		拥有传感性能
光源		超高压水银灯：2kW or 3.5kW or 5kW	超高压水银灯：10kW	超高压水银灯：18kW
外观尺寸及重量	本体尺寸	W2400 x D2480 x H2290mm (另有控制箱、局部空调、冷水机)	W3600 x D3870 x H2500mm (另有控制箱、局部空调、冷水机)	W7450 x D5000 x H3600mm (另有控制箱、局部空调、冷水机)
	本体重量	1500kg	1900kg	2000kg
	光源重量	500kg	1100kg	3500kg
	无尘机房重量	250kg	300kg
选购项		掩膜冷却、基板台温度调节、温控机房、特殊对位照明
用途		触摸屏、彩色滤光片、有机EL、C－STN、电子纸等

※基板尺寸和水银灯瓦数及特殊规格可商洽

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