主要特长 非常适用于实验・研发之用途。 紧凑型设计(600×600mm)，可在桌面上安装使用。 搭载UV LED爆光灯房标准（有效曝光范围φ4″）。 接触式曝光模式（可支持其他的曝光模式，为选购项）。 完全手动操作，价格公道合理。 主要规格 DA-1000 Wafer Size Ø2″ , Ø3″ and max. Ø4″ Mask Size 5″ x 5″ Alignment Scope 8 times Lamp House UVLED (365 nm or 405 nm) Illumination Intensity Max. 14 mW /㎠ (365 nm) or Max. 20 mW /㎠ (405 nm)