[采用]
适用于需要高精度的磨削。
[特征]
它是一种直接冷却电磁线圈的特殊结构。
它是一种精度变化极小的结构。该结构通过使用从上表面通过卡盘内部的冷却剂和研磨液来抑制温度上升。这使得由于温升引起的卡盘膨胀的变化非常小。
即使冷却液通过卡盘内部，我们的原始设计也使内部线圈不易发生故障。