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产品资料

OHKURA无纸记录仪

南京供应HORIBA崛场在线监控椭偏仪UVISEL Plus In-Situ

型号： UVISEL Plus In-Situ

简介：

南京供应HORIBA崛场在线监控椭偏仪UVISEL Plus In-Situ UVISEL Plus在线监控椭偏仪可以很容易的安装在各类反应腔（PECVD、MOCVD、磁控溅射、蒸镀、ALD和MBE），实时监控薄膜沉积或刻蚀过程。UVISEL Plus在线椭偏仪结合了速度快、灵敏度高、动态范围宽和准确等优点，使其能够在原子层水平监控沉积/刻蚀，即使过程速度比较快也可实现。

详情介绍

南京供应HORIBA崛场在线监控椭偏仪UVISEL Plus In-Situ国内各区域供应

高速、准确
完整集成了实时测量、建模和报告软件包
便于在线和离线间切换

可获得的信息

薄膜厚度
光学常数（n,k）
材料组成
- 光谱范围：190-885 nm，可扩展至 190-2100 nm
- 光源：75W氙灯或150W氙灯
- 探测系统：单点或实时光谱采集使用高灵敏度，宽动态范围的PMT探测器和扫描单色仪，原位监控薄膜沉积/蚀刻
- 光斑尺寸@300：50μm , 100μm & 1mm
- 机械适配器：CF35或KF40法兰

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