HORIBA崛场一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE
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HORIBA崛场一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE 国内各区域供应
概要:
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全自动流程,薄膜分析更容易
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高性能系统
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光斑可视化,微光斑可至25x60 µm
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功能齐全和灵活
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智能诊断
配置:
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光谱范围:440-1000nm
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光斑尺寸:7个尺寸微光斑全自动切换500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm
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探测系统:CCD,分辨率2nm
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样品台:真空吸盘,Z轴行程40mm
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光斑可视系统:CCD摄像机-视野1.33x1 mm-分辨率10µm
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量角器:固定角70°,也可选择66°或61.5°
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多种附件可选
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测试时间:<2s,常规为5s
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准确性:NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002
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重复性:NIST 15nm ± 0.2 Å
Auto SE - 自动化薄膜测量工具
一键式全自动快速椭偏仪
Auto SE是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮,几秒钟内即可自动完成样品测量和分析,并提供完整的薄膜特性分析报告,包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。
Auto SE全自动化设计、一键式操作,功能齐全。配备自动XYZ样品台进行成像分析,自动切换微光斑,多种附件可选,以满足不同的应用需求。
Auto SE借助完整的操作向导,自动检测并诊断问题,对故障进行处理,仪器维护简单
Auto SE是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
推荐优势日本HORIBA纳米颗粒分析仪SZ-100V2系列
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产品名称: HORIBA崛场一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE
产品型号:
产品展商: HORIBA堀场仪器
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HORIBA崛场一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE
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