总代HORIBA崛场半导体质量流量模块D700MG 国内各区域销售
总代HORIBA崛场半导体质量流量模块D700MG
工具上气体和全尺寸配置更改 *仅 EtherCAT
为流程优化提供灵活性
100 ms 响应速度和mfc到mfc的偏差控制
提供高生产力和更大的过程性能
小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）
为需要小流量的工艺提供灵活性
PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性能
稳定性性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量
状态监控功能
为更智能的故障预测提供更多的内部数据
*1 流量精度可低至2 SCCM，因此实际气体低于2 SCCM以下不保证精度。 *2 在25℃和≤ 1.0 × 10-3 Pa (A)条件下的保证值。 *3 设定时间为 MFC 输出信号和 N2 气体。其他细节定义遵循“SEMI标准 E17-1011章节 4.1.4”的设定时间。 *4 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。 *5 EtherCAT® 是注册商标和**技术，由德国 Beckhoff Automation GmbH 授权。