产品资料

总代MITAKA三鹰光器 3D面轮廓粗糙度测定PF-60

型号： PF-60

简介：

MITAKA三鹰光器 3D面轮廓粗糙度测定PF-60可实现50倍折射率测量速度的扫描自动AF功能和高精度自动XY载物台，以亚微米级测量精度实现数十毫米宽范围的高速测量。它非常适合测量横截面曲线无法检测到的精密加工零件的翘曲、成型品中的形状缺陷以及摩擦学中磨损和划痕的定量评估。

详情介绍

国内总代MITAKA三鹰光器 3D面轮廓粗糙度测定PF-60

测量概述

PF-60由用于Z轴高度测量的自动对焦（AF）显微镜和用于扫描的高精度XY载物台组成。
高度方向上的位置由AF显微镜测量，并通过在XY载物台上移动工件来捕获XYZ坐标以测量形状。

扫描XY载物台

由于充分利用高精度XY载物台读取坐标轴，因此可以在可移动范围（60 mm x 60 mm）内进行连续测量。由于没有视场范围等测量精度，因此无需将测量数据拼接在一起，并且可以进行大范围的高精度测量。

点焦点表达式

用于高度测量的AF显微镜中包含的激光束通过上图所示红线的光路中的物镜，并以半径为0.5μm的激光探头的形式在测量工件的表面上形成图像。
激光探头在工件表面上的反射光再次穿过物镜并在AF传感器上形成图像，但是当激光探头从焦点位置移动时，AF传感器上的光斑位置也会发生变化。自动对焦传感器实时检测光斑的位置位移，并通过操作自动对焦轴机构定位自动对焦显微镜，使光斑始终位于传感器的中心。