MDCOM株式会社MEIRA-MS-1-152-H3台式准分子辐照装置
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紧凑型高性能扫描辐照 MEIR-MS系列是具有载物台传输功能的台式准分子辐照
装置。
它配备了能够达到隔膜生成和研发应用所需的
低氧浓度的腔室所需的几乎所有功能，从而实现更准确的实验。
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苹果
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XE（氙气）准分子灯*1
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波长
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172纳米
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安装的灯具数量
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从1个*1开始的定制设计
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有源发射长度
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150毫米~300毫米
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光。。。。。。。。。。。。 标准
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70 mW/c㎡以上（大气和管面照度）*2
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光。。。。。。。。。。。。 高照度
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120 mW/c㎡以上（大气和管面照度）*2
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光。。。。。。。。。。。。 内管水冷高照度
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170 mW/c㎡以上（大气和管面照度）*2
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照度均匀性
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± 10% 以内
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载物台尺寸
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300毫米以内□
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照射距离调节功能
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2毫米~20毫米
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处理速度
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0.1~5米/分钟（从触摸屏设置）
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N2流量计
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是（*大流量取决于灯的数量）
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CDA 流量计
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是（*大流量取决于灯的数量）
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冷却水流量计
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是（*大流量取决于灯的数量）
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排气设备
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排气鼓风机和臭氧过滤器
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臭氧泄漏监测仪
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选择
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■ 注
*1 灯管数量、有效长度、照射设备尺寸：可
定制*2 点亮后立即测量大气管表面（使用照度计 C9536/H9535-172 测量）
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产品名称: MDCOM株式会社MEIRA-MS-1-152-H3台式准分子辐照装置
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