MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-3-500铃田科技主要用途玻璃、薄膜、晶圆、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布机、喷涂预处理 抗残渣、有机物灰化

VUV清洗效果 清洗效果达到****的洁净沉程度。PET薄膜从照射前的75.6度大幅降低到14.7度；原片玻璃从照射前的46.1度大幅降低到5度。一尘不染，洁净如新。

三大步骤

除去有机物，增加表面的活性化、亲水化；工件的粘着性和紧密性大幅度提高；UV清洗是不会破坏表面以及不会形成腐蚀孔的无损伤清洗方式。

1

切断

切断有机物分子：172nm光子能量切断有机物分子的结合(表面改质･硬化)

CmHnOK →Cm‘Hn ‘ Ok’

2

吸收与分解

被氧吸收和分解：172nm被氧吸收，生成活性氧和臭氧，臭氧再分解生成活性氧 O2+hν→O (1D)O3+hν → O2+O (1D)

3

结合

氧化分解为亲水基：被切断了化学结合的原子和活性氧结合，氧化分解、挥发后，生成亲水基 CO2, H2O, OH-

MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-3-500铃田科技江苏销售

MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-3-500铃田科技上海销售

MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-3-500铃田科技安徽销售

MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-3-500铃田科技浙江销售

MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-3-500铃田科技山东销售