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MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-1-330铃田科技

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MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-1-330铃田科技主要用途玻璃、薄膜、晶圆、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布机、喷涂预处理抗残渣、有机物灰化

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MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-1-330铃田科技主要用途玻璃、薄膜、晶圆、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布机、喷涂预处理抗残渣、有机物灰化

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参考规格

苹果	XE（氙气）准分子灯*1
波长	172纳米 *1
安装的灯具数量	1*2起的定制设计
有源发射长度	150毫米~2500毫米
光。。。。。。。。。。。。标准	70毫瓦/平方英寸以上 *4
光。。。。。。。。。。。。高照度	120毫瓦/平方英寸以上 *4
光。。。。。。。。。。。。内管水冷高照度	170毫瓦/平方英寸以上 *4
照度均匀性	± 10% 以内

阵容
梅特	标准照度（70mW/cm2），水冷系统（电源和灯座）
梅乌塔	标准照度（70mW/cm2），风冷
默斯	高照度（120mW/cm2），水冷系统（电源和灯座）
默特	大面积体辐照装置（带石英窗）
梅斯-WC	内管水冷高照度（170mW/cm2）水冷系统（电源和灯座，内管电极） *5

■ 注
*1 波长选项：222nm
*2 灯管数量、有效长度、照射设备尺寸：定制*3 支持以 10mm 灯管有效长度为增量进行定制
。对于有效长度为1700mm或以上，两个灯以交错排列的方式排列
*2 点亮后立即测量大气管表面（通过照度计C4/H9536-9535测量）*172 内管冷却需要纯水（每盏灯5L/min）

MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-1-330铃田科技

MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-1-330铃田科技主要用途玻璃、薄膜、晶圆、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布机、喷涂预处理 抗残渣、有机物灰化

MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-1-330铃田科技主要用途玻璃、薄膜、晶圆、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布机、喷涂预处理抗残渣、有机物灰化