运动范围(X、Y、Z、AF)
100, 100, 100, 10毫米
X-Y 轴刻度分辨率
0.1微米
自动对焦轴刻度分辨率
0.01微米
测量原理
点自动对焦方法 ISO 25178-605
激光
λ = 635nm 输出,1mW 或更低