产品资料

苏州轮廓形状测定仪定机EF550A-M58D小坂KOSAKA

型号： EF550A

简介：

KOSAKA小坂台阶仪小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立，日本家發表光學幹槓桿表面粗糙度計，具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。XP操作系统为多种不同表面提供的形貌分析，有半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用

详情介绍

内置分析宏支持为复杂的分析工作节省人力。

测量精度	Z：±（2.5+0.5×\|H\|） μm 或更小 H：位移（毫米） X：±（2.5+0.02L） μm或更小 L：测量长度（毫米）
分辨率	Z轴：0.25微米 X 刻度：0.1微米
样本数/*小间隔	*大 64，000 点 / 分钟 0.5μm
测量范围	Z轴：30毫米 X：50毫米
显示屏放大倍率	长（Z），宽（X）：1~2，000次

苏州轮廓形状测定仪定机EF550A-M58D小坂KOSAKA