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产品资料

OHKURA无纸记录仪

超快光谱干涉式测厚仪Otsuka大冢

型号：

简介：

它以非接触方式测量晶片等的研磨和抛光过程，具有超高速、实时和高精度的晶片和树脂。

详情介绍

可进行非接触式、非破坏性厚度测量
折反射系统（可以从一侧接触测量）
高速（*大速度 5kHz）和实时评估成为可能
实现高稳定性（重复精度 0.01% 以下）
抗粗糙性强
可以处理任何距离
支持多层结构（*多5层）
内置NG数据排除功能
可进行距离（形状）测量（内置传感器选件

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