特殊长度
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可以进行非接触式,非破坏性的厚度测量
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折反射系统(可以从一侧接触进行测量)
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高速(*高速度5kHz)和实时评估成为可能
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实现高稳定性(重复精度不超过0.01%)
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抗粗糙性强
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可以应付任何距离
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支持多层结构(*多5层)
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内置NG数据排除功能
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可以进行距离(形状)测量(内置传感器随附的选件) *
*通过在测量范围内的光学距离测量
要点1:采用原创技术
实现高波长分辨率,同时支持广泛的膜厚度。
大冢电子的独特技术封装在紧凑的机身中。
要点2:高速支持
它
也是工厂生产线的理想选择,因为它可以**的间距测量运动的物体。
第三点:支持各种表面条件的样品
约有φ20μm的微小斑点,
可以在各种表面条件下测量样品的厚度。
Point4:与各种环境兼容
由于可以从*远200 mm的距离进行测量,因此
可以根据目的和应用构建测量环境。
测量项目
用