产品规格

*大电路板尺寸	φ6英寸晶圆或100×100mm基板
速度（转/分）	20~7，000
旋转精度	±1转/分（负载时）
发动机	交流伺服电机
盖	丙烯酸
旋转室直径	φ290毫米
步进模式数	100 步× 10 种模式
时间设置	999.9秒
**联锁	真空标准 盖可选
滴水装置	选择
使用的真空压力	-0.08~-0.1兆帕
权力	交流100~240V 5A
外部尺寸（毫米）	352W×303H×432D
重量	16公斤

* 规格如有更改，恕不另行通知。

支持的选项

<定制类型>		<兼容型号>
・自动滴水装置（气动型）	1 臂	○
	2 臂	○
・自动滴水装置（支架式）		○
・漱边		○
・背部冲洗		○
・排气管		○
・废液排放		○
・邻苯二甲酰亚胺开关		○
・特氟龙涂层		○
・增加电机余热风扇		○
・急停开关		○
・大功率电机

选型支持 技术服务 售后安装调试维修

苏州代理MIKASA 真空镀膜机MS-B100

南京代理MIKASA 真空镀膜机MS-B100

常州代理MIKASA 真空镀膜机MS-B100

上海代理MIKASA 真空镀膜机MS-B100

武汉、长沙、合肥、杭州、贵阳、芜湖、福建、广州、深圳、北京、成都、重庆