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OHKURA无纸记录仪

代理销售MIKASA旋转涂层机MS-B300

型号： MIKASA 旋转涂层机MS-B300

简介：

由于旋涂机应用机（MIKASA）的产品由于使用交流伺服电机而无刷，因此在洁净室中的污染性非常出色，并且通过减少电机的发热，在连续使用过程中很难因温度升高而影响薄膜厚度的再现性。

详情介绍

产品规格

*大电路板尺寸	φ12英寸晶圆或200×200mm基板
速度（转/分）	20~5，000
旋转精度	±1转/分（负载时）
发动机	交流伺服电机
盖	聚碳酸酯
旋转室直径	φ500毫米
步进模式数	100 步× 10 种模式
时间设置	999.9秒
**联锁	真空标配设备盖标配设备
滴水装置	可选（*多可连接 2 个臂）
使用的真空压力	-0.08~-0.1兆帕
权力	AC200~240V 单层 5A
外部尺寸（毫米）	545W×432H×654D
重量	55公斤
选择	定心夹具

* 规格如有更改，恕不另行通知。

支持的选项

<定制类型>		<兼容型号>
・自动滴水装置（气动型）	1 臂	○
・自动滴水装置（气动型）	2 臂	○
・自动滴水装置（支架式）
・漱边		○
・背部冲洗		○
・排气管		○
・废液排放		○
・邻苯二甲酰亚胺开关		○
・特氟龙涂层		○
・增加电机余热风扇		○
・急停开关		○
・大功率电机		○

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