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产品资料

MIKASA旋转涂膜仪MS-B150 刷涂机实验仪器

型号:
简介:

使用交流伺服电机,因此无刷,因此在洁净室中污染良好,通过降低电机的发热,在连续使用时,由于温度升高,薄膜厚度再现性也难以受到影响。

详情介绍

产品规格

*大电路板尺寸 φ6英寸晶圆或100×100mm基板
转速(rpm) 20~7,000
旋转精度 ±1rpm(负载时)
电机 交流伺服电机
丙烯酸
旋转室内径 φ290mm
步骤模式数 100 步× 10 模式
时间设置 999.9sec
**联锁 真空标准盖
选项
滴落设备 选项
使用真空压力 -0.08~-0.1MPa
电源 AC100~240V 5A
外形尺寸(mm) 352W×303H×432D
重量 16kg

* 规格如有更改,恕不另行通知。

支持选项


<定制类型> >支持<的型号
自动滴落装置(空气驱动) 1 臂
2 臂
自动滴落装置(支架类型)  
边缘冲洗  
反向冲洗  
排气管  
废液排放  
盖子限位开关  
特氟龙涂层加工  
添加电机废热风扇  
紧急停止开关  
大功率电机  

对准曝光机
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋转涂布机
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200(密封)、MS-B300( 密封)
显影刻蚀装置
AD-1200
AD-3000
ED-1200
ED-3000


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