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产品资料

OHKURA无纸记录仪

MIKASA旋转涂膜仪MS-B100刮涂机含技术支持

型号：

简介：

使用交流伺服电机，因此无刷，因此在洁净室中污染良好，通过降低电机的发热，在连续使用时，由于温度升高，薄膜厚度再现性也难以受到影响。

详情介绍

产品规格

*大电路板尺寸	φ4英寸晶圆或75×75mm基板
转速（rpm）	20～8,000
旋转精度	±1rpm（负载时）
电机	交流伺服电机
盖	丙烯酸
旋转室内径	φ220mm
步骤模式数	100 步× 10 模式
时间设置	999.9sec
**联锁	真空标准盖选项
滴落设备	不可安装
使用真空压力	-0.08～-0.1MPa
电源	AC100～240V　5A
外形尺寸（mm）	259W×246H×330D
重量	10kg

* 规格如有更改，恕不另行通知。

支持选项

<定制类型>		>支持<的型号
自动滴落装置（空气驱动）	1 臂
自动滴落装置（空气驱动）	2 臂
自动滴落装置（支架类型）
边缘冲洗
反向冲洗
排气管		○
废液排放		○
盖子限位开关		○
特氟龙涂层加工		○
添加电机废热风扇		○
紧急停止开关		○
大功率电机

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对准曝光机MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、旋转涂布机MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（密封）显影刻蚀装置AD-1200AD-3000ED-1200ED-3000

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