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产品资料

OHKURA无纸记录仪

日本进口MIKASA旋转刮涂机MS-B300

型号：

简介：

光刻.com从旋涂机（涂布机）到掩模对准器（曝光装置），以及用于开发和蚀刻的研究实验室机器。此外，作为测量，我们还处理各种测量机，用于薄膜厚度测量、阶梯测量、线宽和形状测量。

详情介绍

产品规格

*大电路板尺寸	φ12英寸晶圆或200×200mm基板
转速（rpm）	20～5,000
旋转精度	±1rpm（负载时）
电机	交流伺服电机
盖	聚碳酸酯
旋转室内径	φ500mm
步骤模式数	100 步× 10 模式
时间设置	999.9sec
**联锁	真空标准盖标准设备
滴落设备	选购件（*多可安装 2 个臂）
使用真空压力	-0.08～-0.1MPa
电源	AC200 至 240V 单层 5A
外形尺寸（mm）	545W×432H×654D
重量	55kg
选项	居中夹具

* 规格如有更改，恕不另行通知。

膜厚分布数据

膜厚分布数据

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使用的型号	MS-B300
电阻	OFPR-800LB（东京应化社制）
电路板尺寸	φ12英寸硅晶片
目标厚度	1μm
薄膜厚度分布	±0.8％

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