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产品资料

OHKURA无纸记录仪

代理销售MIKASA旋转刮涂机MS-B150

型号：

简介：

旋转涂布机涂布机.com（Mikasa）的产品使用交流伺服电机，因此无刷，因此在洁净室中污染良好，通过降低电机的发热，在连续使用时，由于温度升高，薄膜厚度再现性也难以受到影响。

详情介绍

产品规格

*大电路板尺寸	φ6英寸晶圆或100×100mm基板
转速（rpm）	20～7,000
旋转精度	±1rpm（负载时）
电机	交流伺服电机
盖	丙烯酸
旋转室内径	φ290mm
步骤模式数	100 步× 10 模式
时间设置	999.9sec
**联锁	真空标准盖选项
滴落设备	选项
使用真空压力	-0.08～-0.1MPa
电源	AC100～240V　5A
外形尺寸（mm）	352W×303H×432D
重量	16kg

* 规格如有更改，恕不另行通知。

支持选项

<定制类型>		>支持<的型号
自动滴落装置（空气驱动）	1 臂	○
自动滴落装置（空气驱动）	2 臂	○
自动滴落装置（支架类型）		○
边缘冲洗		○
反向冲洗		○
排气管		○
废液排放		○
盖子限位开关		○
特氟龙涂层加工		○
添加电机废热风扇		○
紧急停止开关		○
大功率电机

膜厚分布数据

膜厚分布数据

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使用的型号	MS-B150
薄膜厚度测量设备	菲梅特里克斯F50
电阻	OFPR-800LB（东京应化社制）
电路板尺寸	φ6英寸硅晶片
目标厚度	1μm
薄膜厚度分布	±0.6％

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