接触方法
软性接触/ 硬性接触（ 部分选配）
对准精度
使用对物镜20×时<1.2μm（M-1S除外）
对准显微镜
双视野显微镜 对物镜间隔18~60mm （M-1S除外）
曝光波长
多频率（h.i.g线）
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刷涂机、刮涂机、喷涂机
联系人：李先生 13402684488（微信同号）
对准曝光机 MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、 旋转涂布机 MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）
显影刻蚀装置