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产品资料

OHKURA无纸记录仪

代理Otsuka大塚电子OPTM测厚仪

型号：

简介：

代理Otsuka大塚电子OPTM测厚仪覆层膜厚仪层测厚仪厚度测量非接触式厚度测量仪

详情介绍

铃田（上海）科技有限公司代理、直营各日本品牌工业产品，联系人：张小姐

联系电话：15902189399

产品信息

特点

膜厚测定范围1nm~92μm（SiO₂转换）
膜厚值高重复精度
1 点 1 秒以内的高速测量
微小点（*小 3μm）可瞄准图案
*适合图案晶圆厚度映射
可以获取用于图案对齐的图像

设备嵌入式图像

测量数据图像

测量点周边图像

自适应过程示例

CMP 流程

蚀刻工艺

沉积工艺

等

规格

OPTM 头规格表

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