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产品资料

OHKURA无纸记录仪

日本SAKAGUCHI坂口电热带热电偶（ T/C）晶圆

型号：带热电偶（T/C）晶圆

简介：

日本SAKAGUCHI坂口电热特点非常适合测量晶圆的温度分布和管理温度。所有产品都是按订单生产的产品。

详情介绍

用途

制造设备和辅助设备（热板、基座等）的开发和检测
设置制造条件
监控制造流程
提高生产率（优化循环时间等）

标准规格（按订单生产所有产品）

大小	支持 300mm 晶圆
基板材料	硅、加里希索、玻璃、阿尔蒂克等
使用温度	室温至 1200 度（MAX）

热电偶（T/C）
类型	K 型、R 型等
护套规格	0.25mm 或更多
线材规格	0.10mm 或更多
T/C 数	支持所需的测量点数
绝缘材料	玻璃纤维、硅玻璃纤维、石英珠、氟树脂管等
终端	满足您的要求，如专用连接器。

注意
1）热电偶的尖1端安装部分不应施加超过 1 根 2.5N （0.25 kgf）的力。
2）在还原气体和氧化气体环境中使用时，请事先检查材料的使用寿命。

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