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产品资料

OHKURA无纸记录仪

铃田科技TSUBOSAKA壶坂紫外线曝光装置

型号：紫外线曝光装置 UVL-3

简介：

光刻工序中简易曝光烧结装置桌面型、一体型，节省空间配备彩色 LCD 和十字键 **控制照射时间 [操作说明] （1）接通电源使灯点亮（2）灯稳定后，调整并登记放射照度（3）设定曝光时间（以放射照度×时间显示曝光量）（4）曝光时间曝光时自动快门开闭在手动曝光的情况下，一边观察曝光量一边手动开闭快门

详情介绍

产品名称	紫外线曝光装置
类型表达式	UVL-3
光源	超高压汞灯 250W
辐照度[mW/τ]	常用：20 - 22 *大值：24
照度面（WxH）[mm]	照射范围：φ155 有效：φ113 mm
照度不均[± %]	有效面内 8
查看和操作	主体操作和外部通信控制
曝光时间	0.1 - 99.9 （长达 99 小时）
样品台	带固定式、平面微调机构
样品尺寸 [mm x mm]	100 x 100
通信 I/F	连接器：USB 2.0 类型-B 通信：通过虚拟 COM 端口 UART
电源电压	AC100V　50/60Hz
功耗[VA]	450
操作环境	温度： 5 - 35 °C ] 湿度： 80 [%] 或更少，无冷凝
尺寸（WxHxD） [mm]	422.5mm （W） ×781mm （H） ×357mm （D）不包括投影
重量[kg]	30
扩展	[可选] •辐照度变化（更改为 20 或更少），曝光蒙版支持（添加掩膜支架和样品托盘） [自定义] 和样品尺寸更改（由于照射范围也更改，因此自定义支持）

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